[发明专利]一种应用于接触钝化电池的钝化结构及其制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池技术领域，针对现有技术的TOPCon电池中接触钝化层光吸收率高的问题，公开了提供一种应用于接触钝化电池的钝化结构及其制备方法，包括N型衬底、设于所述N型衬底正面的两个正电极和设于所述N型衬底背面的两个负电极，所述N型衬底的背面设有SiO2层，所述SiO2层上设有掺杂多晶SiOxNy层。本发明通过用掺杂多晶氮氧化硅层替代多晶硅层，在保证接触电阻变化不大的基础上，通过适当条件的掺杂和退火，以降低接触钝化层的光吸收，提高接触钝化类型电池的效率。