[发明专利]具有反射杯结构的紫外集成光源及其制作方法

摘要

本发明公开了一种具有反射杯结构的紫外集成光源及其制作方法，其包括高导热基板、围坝、微灯杯阵列、芯片和窗口片，高导热基板包括AlN陶瓷板、线路层和第一连接金属层，围坝的上、下表面设有上、下连接金属层；窗口片上设有第二连接金属层；高导热基板利用AlN陶瓷板的高导热及高绝缘特性，能满足芯片高密度排布对散热的需求；高导热基板和围坝均选用膨胀系数相匹配的材料进行组合，有效增加光源整体结构可靠性；采用化学腐蚀工艺腐蚀在微灯杯阵列上形成多个微小的灯杯腔，可以通过反射层对芯片的出光角度进行控制，并解决常规灯珠围坝壁对芯片侧光的吸收问题，提高出光效果；窗口片、围坝和高导热基板之间配合紧密，气密性好。