[发明专利]具有反射杯结构的紫外集成光源及其制作方法在审
申请号: | 202011489509.9 | 申请日: | 2020-12-16 |
公开(公告)号: | CN112614922A | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 李永德;王维昀;王后锦;康俊杰;袁冶;罗巍;唐波;张紫珊 | 申请(专利权)人: | 松山湖材料实验室 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/60;H01L33/64 |
代理公司: | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人: | 陈培琼 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 反射 结构 紫外 集成 光源 及其 制作方法 | ||
1.一种具有反射杯结构的紫外集成光源的制作方法,其特征在于:其包括以下步骤:
(1)制作高导热基板:在AlN陶瓷板制作线路层及第一连接金属层,获得高导热基板;
(2)制作围坝:对AlN、Al2O3或可伐合金材料进行加工,获得围坝,在围坝的上、下表面相应制作有上、下连接金属层;
(3)安置围坝:将围坝放置在高导热基板的预定位置,并使第一连接金属层与上连接金属层相紧密连接;
(4)制作微灯杯阵列:采用化学腐蚀工艺对玻璃、可伐合金或单晶硅材料进行加工,获得微灯杯阵列,在微灯杯阵列的上表面以及灯杯腔内表面上制作反射层;
(5)固定微灯杯阵列:将微灯杯阵列放置在高导热基板的预定位置,并进行固定连接;
(6)焊接芯片:将芯片定位在微灯杯阵列的灯杯腔内,并与线路层进行电连接;
(7)制作窗口片:对石英或蓝宝石材料进行加工,获得窗口片;在窗口片的下表面边沿位置制作第二连接金属层;
(8)安装窗口片:将窗口片放置在围坝上,并使第二连接金属层与下连接金属层相紧密连接。
2.根据权利要求1所述的具有反射杯结构的紫外集成光源的制作方法,其特征在于:所述步骤(1)采用溅射、电镀、化镀工艺对AlN陶瓷板的上表面中间区域进行处理,获得线路层。
3.根据权利要求1所述的具有反射杯结构的紫外集成光源的制作方法,其特征在于:所述步骤(2)采用激光加工工艺对AlN或Al2O3进行切割加工,或者采用冲压或腐蚀工艺对可伐合金材料进行加工,获得围框。
4.根据权利要求1所述的具有反射杯结构的紫外集成光源的制作方法,其特征在于:所述步骤(4)采用PVD工艺对微灯杯阵列的上表面以及灯杯腔内表面上制作有铝膜,获得反射层;或者采用电泳、喷涂工艺对微灯杯阵列的上表面以及灯杯腔内表面上制作有铁氟龙层,获得反射层。
5.根据权利要求1所述的具有反射杯结构的紫外集成光源的制作方法,其特征在于:所述步骤(6)中的芯片采用共晶或锡膏焊工艺与线路层进行电连接。
6.一种具有反射杯结构的紫外集成光源,其特征在于,其包括高导热基板、围坝、微灯杯阵列、芯片和窗口片,所述高导热基板包括AlN陶瓷板、线路层和第一连接金属层,所述第一连接金属层位于AlN陶瓷板的边沿位置,所述线路层位于AlN陶瓷板的中间位置;所述围坝采用AlN、Al2O3或可伐合金材料制成,该围坝的上、下表面相应设有上、下连接金属层;所述围坝位于AlN陶瓷板的边沿位置,并使第一连接金属层与下连接金属层紧密连接;所述微灯杯阵列固定在所述AlN陶瓷板上,该微灯杯阵列上采用化学腐蚀工艺腐蚀有多个灯杯腔,所述微灯杯阵列的上表面以及灯杯腔内表面上设有反射层,所述芯片位于灯杯腔内,并与所述线路层进行电连接;所述窗口片的下表面边沿位置设有第二连接金属层,将窗口片盖在围坝上,并使第二连接金属层与下连接金属层相紧密连接。
7.根据权利要求6所述的具有反射杯结构的紫外集成光源,其特征在于:所述反射层为铝膜或铁氟龙层,厚度为0.05~1um。
8.根据权利要求6所述的具有反射杯结构的紫外集成光源,其特征在于:所述线路层的厚度为0.5~3um。
9.根据权利要求6所述的具有反射杯结构的紫外集成光源,其特征在于:所述围坝的高度为0.4~0.6mm。
10.根据权利要求6所述的具有反射杯结构的紫外集成光源,其特征在于:所述窗口片为石英片或蓝宝石片,的厚度为为0.4~0.6mm。
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