[发明专利]晶圆缺陷扫描系统及扫描方法和计算机存储介质

摘要

本发明提供了一种晶圆缺陷扫描系统及扫描方法和计算机存储介质，所述晶圆缺陷扫描方法包括：提供一待测晶圆，具有x颗待扫描的晶粒；提供一扫描机台，设置有所述扫描机台能够记录的缺陷数量的上限y个；以及，对所述待测晶圆上的晶粒进行第一次扫描，若扫描到的缺陷数量达到所述上限y个时，已扫描的所述晶粒的数量小于x颗，则对x颗所述晶粒重新执行第二次扫描；其中，在所述第二次扫描的过程中，每当扫描到的缺陷数量达到所述上限y个时，对扫描到的缺陷数量进行取样记录，直至已扫描的晶粒的数量达到x颗时，所有次的取样记录的数量之和不超过所述上限y个。本发明提供的技术方案提高了整片晶圆的缺陷扫描的速度，提高了机台产能。