[发明专利]一种碳化硅晶体取下装置有效
| 申请号： | 202011461283.1 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112226814B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 邹小燕;李兴霞;姚文;申兴 | 申请（专利权）人： | 烟台工程职业技术学院（烟台市技师学院） |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 陈宾宾 |
| 地址： | 264006 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碳化硅晶体取下装置，涉及碳化硅生产领域。该装置包括两个支撑盘和三个连接杆，三个连接杆位于两个支撑盘之间，三个连接杆的上下两端分别与两个支撑盘互相靠近的一面固定连接，三个连接杆的下端均安装有装夹机构，三个连接杆上端之间设置有挤压机构，挤压机构通过三个横板A与三个连接杆固定连接。该碳化硅晶体取下装置设置装夹机构、挤压机构和敲击机构，通过调节装夹机构，可以将坩埚或籽晶托架固定住，通过控制电机旋转，带动带轮旋转，两个楔形板可以重叠，楔形板逐渐挤压受力板，压盘对晶体产生缓慢且均匀的压力，可使晶体完整脱落，解决了现有技术用直接顶出方式使晶体脱落不均匀导致破裂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体 取下 装置 | ||
【主权项】：
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