[发明专利]适用于半导体及显示面板的无氰化学沉金溶液有效
申请号: | 202011454923.6 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN112593220B | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 王江锋;姚吉豪 | 申请(专利权)人: | 深圳市创智成功科技有限公司 |
主分类号: | C23C18/44 | 分类号: | C23C18/44 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518116 广东省深圳市宝安区新*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种适用于半导体及显示面板的无氰化学沉金溶液,由以下成分组成:无氰金盐,以Au离子的含量计为4~5g/L、络合剂20~100g/L、还原剂2‑5g/L、界面活性剂0.05~0.2g/L、缓冲剂30‑60g/L,稳定剂0.2‑5mg/L,用硫酸或者氢氧化钾调节pH至7~9,余量为水,操作温度50‑90℃。该发明得到的金镀层具有良好的附着性好,镀层均匀,沉积速率快,镀液稳定。同时本发明的无氰化学沉金溶液不使用氰化金钾类高毒物质,不含氰根,减少对操作人员的健康影响和工作环境的安全隐患,还大大减少了废水处理的负担和影响。 | ||
搜索关键词: | 适用于 半导体 显示 面板 氰化 学沉金 溶液 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市创智成功科技有限公司,未经深圳市创智成功科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011454923.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理