[发明专利]适用于半导体及显示面板的无氰化学沉金溶液

权利要求书

1. 一种适用于半导体及显示面板的无氰化学沉金溶液，其特征在于，包括以下质量浓度百分比的组分：

无氰金盐，以Au离子的含量计为4~5g/L

络合剂 20~100g/L

还原剂2-5g/L

界面活性剂0.05~0.2g/L

缓冲剂30-60g/L

稳定剂0.2-5mg/L

将上述组分按照配比均匀混合后，用硫酸或者氢氧化钾调节pH至7~9，余量为水，操作温度50-90℃；所述络合剂为亚硫酸钠、1-(4-乙基苯基)-2-硫脲两种，两者使用质量混合比例在0.3~3:1；所述无氰金盐为亚硫酸金钠；所述还原剂为维生素C、硼氢化钠的一种或多种；所述界面活性剂为甲基烯丙基磺酸钠。

2.根据权利要求1所述的适用于半导体及显示面板的无氰化学沉金溶液，其特征在于，所述缓冲剂为氯化铵、柠檬酸铵中的一种或两种。

3.根据权利要求1所述的适用于半导体及显示面板的无氰化学沉金溶液，其特征在于，所述稳定剂为酒石酸锑钾。