[发明专利]脉冲激光清洗方法有效
| 申请号： | 202011435616.3 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112676267B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 林学春;余海军;张志研;赵树森;王红洋;董智勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种脉冲激光清洗方法，包括分别对第一电机和第二电机施加第一周期信号和第二周期信号，以驱动第一振镜和第二振镜进行第一方向和第二方向扫描；第一周期信号周期为第二周期信号周期的两倍，在第二周期信号一个周期内，第一周期信号与第二周期信号具有相同的两个第一时间区间和一个第二时间区间；第一周期信号在第二时间区间内波形斜率为零，其在第一时间区间内波形斜率的绝对值与第二周期信号在第二时间区间内波形斜率的绝对值相等，且第二周期信号在两时间区间内波形斜率的绝对值不相等；采用脉冲激光器对待清洗件表面进行激光扫描处理，利用工业机器人带动激光加工头在第二方向移动，以实现对待清洗件表面的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 激光 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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