[发明专利]脉冲激光清洗方法有效
| 申请号: | 202011435616.3 | 申请日: | 2020-12-10 |
| 公开(公告)号: | CN112676267B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
| 发明(设计)人: | 林学春;余海军;张志研;赵树森;王红洋;董智勇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王文思 |
| 地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 脉冲 激光 清洗 方法 | ||
1.一种脉冲激光清洗方法,其特征在于,包括:
分别对激光加工头(3)中的第一电机(8)和第二电机(10)施加第一周期信号和第二周期信号,以驱动第一振镜(9)和第二振镜(11)进行第一方向和第二方向扫描;其中,所述第一周期信号的周期为所述第二周期信号周期的两倍,且在所述第二周期信号的一个周期内,所述第一周期信号与所述第二周期信号具有相同的两个第一时间区间和一个第二时间区间;所述第一周期信号在所述第二时间区间内的波形斜率为零,所述第一周期信号在所述第一时间区间内波形斜率的绝对值与所述第二周期信号在所述第二时间区间内波形斜率的绝对值相等,且所述第二周期信号在所述第一时间区间和所述第二时间区间内波形斜率的绝对值不相等;
采用脉冲激光器对待清洗件表面进行激光扫描处理,利用工业机器人(4)带动所述激光加工头(3)在所述第二方向移动,以实现对所述待清洗件表面的清洗;
当所述工业机器人(4)带动所述激光加工头(3)移动时,激光光斑根据所述第一周期信号和所述第二周期信号经过四次扫描形成“弓”字形的扫描路径;
其中,激光清洗开始时,所述工业机器人(4)带动所述激光加工头(3)进行所述第二方向的移动;
在第一次和第三次扫描时,所述激光光斑在所述第一方向上的速度与所述激光光斑实际扫描速度相等,在所述第二方向上的速度大小与所述工业机器人(4)移动的速度大小相等,且速度方向相反;
在进行第二次和第四次扫描时,所述激光光斑在所述第二方向上的速度与所述激光光斑实际扫描速度相等,在所述第一方向上的速度为零。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,通过调整所述第一时间区间和所述第二时间区间的比值与所述第一周期信号的振幅和频率,以控制所述激光光斑在所述第一方向上的移动速度;以及,
通过调整所述第一时间区间和所述第二时间区间的比值与所述第二周期信号的振幅和频率,以控制所述激光光斑在所述第二方向上的移动速度。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述工业机器人(4)移动的速度小于或等于50mm/s。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述激光光斑实际扫描速度小于13m/s。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一振镜(9)的旋转角大小范围为-11°~11°,所述第二振镜(11)的旋转角大小范围为-0.07°~0.07°。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述脉冲激光器波长为1064nm,平均功率小于或等于800W,重复频率大于或等于12kHz。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一振镜(9)与所述第二振镜(11)之间的间距范围为25~40mm。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:在采用所述脉冲激光器进行激光扫描处理前,将所述待清洗件的表面置于所述脉冲激光器激光光斑的工作平面位置。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述激光扫描处理中激光器发出的脉冲激光依次经过准直透镜(7)、所述第一振镜(9)和所述第二振镜(11)以及场镜(12)后射向工作平面;其中,所述第一振镜(9)、所述第二振镜(11)分别固定于所述第一电机(8)和所述第二电机(10)输出轴的转动轴心线上;所述第一电机(8)的轴线垂直于所述工作平面,所述第二电机(10)的轴线平行于所述工作平面,所述第一振镜(9)对所述激光进行第一次反射,所述第二振镜(11)对所述激光进行第二次反射,以控制所述激光光斑在所述第一方向和所述第二方向内循环扫描。
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