[发明专利]一种多层膜结构的海洋探测器电极及其制备方法有效
申请号: | 202011427912.9 | 申请日: | 2020-12-07 |
公开(公告)号: | CN112763556B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 张学宇;盖志刚;郭凤祥;王宜豹;柴旭;陈志刚;张丽丽;王韶琰;姜辛 | 申请(专利权)人: | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 |
主分类号: | G01N27/30 | 分类号: | G01N27/30;C23C16/27;C23C16/26;C23C16/50 |
代理公司: | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人: | 刘娜 |
地址: | 266200 山东省青岛市鳌山卫街*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种多层膜结构的海洋探测器电极及其制备方法,该电极由下到上依次包括电极衬底、第一层硼掺杂金刚石膜、石墨烯层和第二层硼掺杂金刚石膜。本发明所公开的海洋探测器电极为两层硼掺杂金刚石膜中间夹一层石墨烯层的结构,利用石墨烯层提高电极的电导率,同时缓解金刚石膜的内应力,在金刚石层电化学窗口宽、背景电流低、机械强度高的基础上,利用石墨烯层高载流子浓度和化学稳定性的特点,能够进一步提高海洋探测器电极的灵敏度和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 多层 膜结构 海洋 探测器 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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