[发明专利]铝硅靶材的制作方法有效
| 申请号： | 202011393135.0 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112538598B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 董意男;程小明;常艳超;尤小磊;周振坤;丁静仁;董常亮;徐东起;王冬振;高奇峰 | 申请（专利权）人： | 爱发科电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/043 | 分类号： | C22F1/043;C23C14/34 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铝硅靶材的制作方法，包括提供AlSi铸锭步骤，拔长步骤，拔长步骤采用冷拔作业，冷拔作业中的锻造比，1≤X1＜2；一次墩粗步骤，控制锻造比为2≤X2＜3，且一次墩粗采用冷镦作业；中间热处理步骤，将产品保持在第一预设温度范围内，保温第一预设时间后，迅速置于冷水中；二次墩粗步骤，控制锻造比为2≤X3＜3，二次墩粗也采用冷镦作业；预热处理步骤；压延步骤，对产品进行多道次压延，并且随着压延道次的增加，压下量减少；退火热处理工艺步骤，在退火温度范围内，保温第三时间，进行水冷处理，形成最终靶材产品。本发明通过合理控制锻造比及冷却方式采用水冷，来降低Si元素析出，从而保证靶材的微观组织及加工性能。 | ||
| 搜索关键词： | 铝硅靶材 制作方法 | ||
【主权项】：
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