[发明专利]镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机在审
| 申请号： | 202011361770.0 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112504143A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李鑫;王之琦;龚渤 | 申请（专利权）人： | 江苏永鼎光电子技术有限公司;江苏永鼎股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 马小慧 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机，包括光信号透过薄膜进入信号接收器；所述信号接收器采集到前一周期结束时的光透射率和当前周期结束时的光透射率；根据所述当前周期结束时的光透射率相对于所述前一周期结束时的光透射率的变化计算出当前周期的薄膜厚度。本发明的镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机，当前周期的薄膜厚度根据当前周期结束时的光透射率相对于前一周期结束时的光透射率的变化计算确定，该监测方法确定当前周期的薄膜厚度是以前一周期为参考点，膜厚监测过程中通过改变参考点来抵消误差，从而减小膜厚测量的累积公差，提高测量精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 在线 监测 方法 | ||
【主权项】：
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