[发明专利]镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机

权利要求书

1.一种镀膜膜厚在线监测方法，其特征在于：包括，

光信号透过薄膜进入信号接收器；

所述信号接收器采集到前一周期结束时的光透射率和当前周期结束时的光透射率；

根据所述当前周期结束时的光透射率相对于所述前一周期结束时的光透射率的变化计算出当前周期的薄膜厚度。

2.如权利要求1所述的镀膜膜厚在线监测方法，其特征在于：逐层镀膜获得所述薄膜过程中，镀一层为一个周期。

3.如权利要求1所述的镀膜膜厚在线监测方法，其特征在于：逐层镀膜获得所述薄膜过程中，镀多层为一个周期。

4.如权利要求1~3任一项所述的镀膜膜厚在线监测方法，其特征在于：所述光信号为激光光信号。

5.一种镀膜机，包括镀膜腔室和设置在所述镀膜腔室内的激光测量模组，其特征在于：所述激光测量模组应用权利要求1~4任一项所述的镀膜膜厚在线监测方法测量薄膜的厚度。

6.如权利要求5所述的镀膜机，其特征在于：所述激光测量模组包括平面工件架，所述平面工件架上设有成膜基座，所述平面工件架绕自己的轴心转动，所述成膜基座绕自己的轴心转动。

7.如权利要求6所述的镀膜机，其特征在于：所述平面工件架上设有多个成膜基座，所述多个成膜基座设置在以所述平面工件架的轴心为圆心的圆周上，至少一个所述成膜基座绕自己的轴心转动。

8.如权利要求6所述的镀膜机，其特征在于：所述平面工件架的转动速度能够调节，或/和所述成膜基座的转动速度能够调节。

9.如权利要求6所述的镀膜机，其特征在于：所述激光测量模组还包括激光光源和信号接收器，所述激光光源和信号接收器分别设置在所述平面工件架的相对两侧，所述信号接收器所含透镜的光轴与所述平面工件架相垂直，所述激光光源位于所述信号接收器所含透镜的光轴上。

10.如权利要求9所述的镀膜机，其特征在于：所述激光测量模组还包括辅正板，所述辅正板用于遮挡部分蒸发源，且所述激光光源安装在所述辅正板上。