[发明专利]布拉格光栅芯片在审
申请号: | 202011350444.X | 申请日: | 2020-11-26 |
公开(公告)号: | CN112346263A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 陈亦凡;严亭 | 申请(专利权)人: | 苏州易锐光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01;G02F1/03;G02F1/035 |
代理公司: | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人: | 唐静芳 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种布拉格光栅芯片,其包括单晶硅基板、设置在单晶硅基板上的二氧化硅层、设置在二氧化硅层上的布拉格光栅、以及设置在布拉格光栅上的负热光系数材料,布拉格光栅上设置负热光系数材料,以此消除基于铌酸锂晶体的布拉格光栅对温度的敏感性,使得布拉格光栅芯片的反射谱中心波长在环境温度变化1k的漂移量基本为零,从而可实现由铌酸锂布拉格光栅构成的光滤波器、激光器等光电器件的光谱响应对温度变化不敏感。 | ||
搜索关键词: | 布拉格 光栅 芯片 | ||
【主权项】:
暂无信息
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