[发明专利]一种非制冷红外器件及其制作方法有效
| 申请号： | 202011338750.1 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112611467B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 张剑;傅剑宇;侯影;刘超;冯万进;黄鹏;周琼;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡物联网创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及红外探测技术领域，具体公开了一种非制冷红外器件，包括：敏感区、悬臂梁、框架、有源器件和金属引线，其中，所述敏感区通过所述悬臂梁与所述框架机械连接，并悬空；所述有源器件位于所述框架上，并通过所述悬臂梁与所述敏感区电学连接；所述金属引线位于所述有源器件上，将有源器件信号引出。本发明还公开了一种非制冷红外器件的制作方法。本发明通过简单的结构以及与器件兼容的MEMS工艺，实现了一种具有开关与放大功能的非制冷红外器件，该器件可与电路分别制造，且后期通过打线集成；从而克服现有的单片集成和3D集成为实现制作，器件和电路的性能需彼此妥协的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制冷 红外 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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