[发明专利]一种敷有金属钛-铜层的金刚石/铜复合材料热沉及其制备方法在审
申请号: | 202011337089.2 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN114540765A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 张习敏;郭宏;谢忠南;黄树晖;解浩峰;黄国杰;李增德 | 申请(专利权)人: | 有研工程技术研究院有限公司 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/24;C23C14/35;C23C2/04;C23C28/02;H01L23/373 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘徐红 |
地址: | 101407 北京市怀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种敷有金属钛‑铜层的金刚石/铜复合材料热沉及其制备方法,属于热管理材料技术领域。该敷有金属钛‑铜层的金刚石/铜复合材料热沉,包括金刚石/铜复合材料热沉,热沉的表面从内到外依次设置钛层和铜层,钛层和铜层的厚度在数微米至数百微米之间。首先在金刚石/铜复合材料热沉表面通过真空微蒸发镀或磁控溅射工艺镀覆钛层,然后浸入铜或铜合金熔液中,静止一段时间后从铜或铜合金熔液中移出,自然冷却即得到敷有金属钛‑铜层的金刚石/铜复合材料热沉。本发明制备的金刚石/铜复合材料热沉表面金属层均匀,结合强度高,且热沉表面粗糙度低,更满足后续工程应用的焊接需要,更易发挥高导热材料的优异性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 金刚石 复合材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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