[发明专利]一种OLED真空镀膜烘干系统在审
| 申请号： | 202011334430.9 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112458405A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 刘干 | 申请（专利权）人： | 淮北华创通信工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 秦丽 |
| 地址： | 235000 安徽省淮*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种OLED真空镀膜烘干系统，包括方箱体，所述方箱体的前端表面中间位置靠近上侧安装有手动转头，所述方箱体的外表面靠近左侧设置有电流蒸镀机，所述方箱体的右端表面中间位置靠近下侧固设有前置体壳，所述电流蒸镀机的上端表面中间位置设置有对接通管，所述电流蒸镀机的上部且位于对接通管的上端表面设置有真空椭箱体；本发明能够实现对基片主体同时且均匀的镀膜，避免外界空气中的带电粒子以及其他因素影响基片主体的镀膜过程，避免基片主体表面沾染有机杂质和尘粒，确保OLED镀膜成功率不受外界因素影响，减小镀膜材料的损耗，可根据基片ITO的不同分布，进行选择性调控镀膜，使得系统可对不同OLED选择性调节镀膜功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 真空镀膜 烘干 系统 | ||
【主权项】：
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