[发明专利]单面黑硅制绒方法及由其制作的单面黑硅在审

专利信息
申请号: 202011332677.7 申请日: 2020-11-24
公开(公告)号: CN114551615A 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 曹芳;叶晓亚;周思洁;邹帅;王栩生 申请(专利权)人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
主分类号: H01L31/0236 分类号: H01L31/0236;H01L31/18
代理公司: 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 代理人: 宋启超
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种单面黑硅制绒方法及由其制作的单面黑硅,基于本发明所提供的单面黑硅制绒方法,具有金属催化离子的胶体仅覆于硅片的一侧表面,使得催化金属颗粒也仅沉积于硅片的相应表面,所制得的单面黑硅不会存在背面绕腐蚀的问题;而且在该方法的具体实施过程中,沉积于硅片表面的催化金属颗粒与硅片本身表面的平整度无关,只需要确保胶体内金属催化离子分布均匀即可实现硅片表面金属催化颗粒的均匀分布,进而较为容易使得所获得制绒面上的腐蚀坑分布均匀,具有较高的制绒质量。
搜索关键词: 单面 黑硅制绒 方法 制作
【主权项】:
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