[发明专利]单面黑硅制绒方法及由其制作的单面黑硅在审
申请号: | 202011332677.7 | 申请日: | 2020-11-24 |
公开(公告)号: | CN114551615A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 曹芳;叶晓亚;周思洁;邹帅;王栩生 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/0236 | 分类号: | H01L31/0236;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 宋启超 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种单面黑硅制绒方法及由其制作的单面黑硅,基于本发明所提供的单面黑硅制绒方法,具有金属催化离子的胶体仅覆于硅片的一侧表面,使得催化金属颗粒也仅沉积于硅片的相应表面,所制得的单面黑硅不会存在背面绕腐蚀的问题;而且在该方法的具体实施过程中,沉积于硅片表面的催化金属颗粒与硅片本身表面的平整度无关,只需要确保胶体内金属催化离子分布均匀即可实现硅片表面金属催化颗粒的均匀分布,进而较为容易使得所获得制绒面上的腐蚀坑分布均匀,具有较高的制绒质量。 | ||
搜索关键词: | 单面 黑硅制绒 方法 制作 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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