[发明专利]背面钝化太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了背面钝化太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：依次对硅片进行制绒、扩散、刻蚀、退火、背面沉积Al2O3/SiNx钝化膜和正面沉积SiNx减反射钝化膜；在预处理硅片的背面进行喷墨印刷，固化后得到具有预设图案的防蚀刻油墨披覆膜；将具有防蚀刻油墨披覆膜的硅片放入HF溶液进行浸泡，取出清洗并干燥；利用碱液对具有预设腐蚀图案的硅片背面的防蚀刻油墨披覆膜进行去除，再用清洗剂进行清洗并烘干；对特定硅片进行丝网印刷和烧结。本技术方案提出的一种背面钝化太阳能电池的制备方法，有利于确保太阳能电池的背面钝化效果。进而提出的一种背面钝化太阳能电池，其光电转换效率和抗弯强度均能得到有效提升，且正面抗PID效果良好。