[发明专利]一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法有效
| 申请号： | 202011300999.3 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112428463B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 吉远君;贺贤汉;陈奎 | 申请（专利权）人： | 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B24B27/06 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 龚敏 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，把原来用气枪吹硅片，改为用水枪喷硅片，且控制水枪喷硅片时的水压，保证硅片不会破损；断线后把晶棒升起，把机台的研磨液桶移开，避免有水流入研磨液；接2根水管，水管直径在10mm左右即可，使用车间内的常规纯水，管头使用淋浴喷头，水流量控制在3L～5L/min。把硅棒清洗干净，特别是硅片与硅片之间要完全没有黑水流出，目视喷洒的水能利用水自身的张力把硅片撑开，解决复旧中不易吹开缝隙，容易产生裂片的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶棒线 切割 加工 过程 断线 复旧 方法 | ||
【主权项】：
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