[发明专利]一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法

权利要求书

1.一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：具体步骤如下：

步骤一、当断线后记录好断线的位置，把晶棒升起，拆下研磨液管，清理好主轴上断线，检查相关怀疑断线的部件、部位；OK后重新绕上钢线，钢线绕好后恢复加工时使用的张力，高速运转5min以上，观察各个部件的运转情况，确保运转正常后停机；

步骤二、把机台的研磨液桶移开，放一个用于盛装清洗水的手提桶；

步骤三、接水管，使用车间内的常规纯水，水流量控制在3L～5L/min；

步骤四、采用步骤三中的水管清洗硅棒，直至硅片与硅片之间完全没有黑水流出；

步骤五、当目视喷洒的水能利用水自身的张力把硅片撑开的时候，下压工作台，当硅棒进入钢线0.5±0.1mm时，停止下压，并确认对入情况；下压工作台时，需要持续用水左右来回匀称喷洒硅棒；

步骤六、确认完全对入后，低速走动钢线，一边喷水一边下压工作台，直到压到断线位置时停止；所述低速走动钢线的速度为4-6m/min；

步骤七、恢复研磨液桶位置，安装好研磨液管，打开研磨液供给泵，当沙液达到需要的流量的时候，手动来回走动钢线，将沙液灌入硅片之间；手动来回走动钢线的速度在100米/min以内；手动来回走动钢线的走线量超过80米；

步骤八、常规开机确认，恢复生产。

2.根据权利要求1所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：步骤三中，接2根水管，水管直径在10±1mm。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：步骤三中，水管的管头采用淋浴小喷头。

4.根据权利要求1所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：步骤四中，清洗时采用1人持1根水管清洗的方法，或者采用2人各持1根水管同时清洗的方法。

5.根据权利要求1所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：步骤六中工作台压到断线位置时停止，机台静止一段时间后，采用气枪对加工室吹扫除晶棒以外的区域。

6.根据权利要求5所述的一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，其特征在于：机台静止时间超过8分钟。