[发明专利]一种高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202011298207.3 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112593194A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张生利;郭洪玲;申展;孟汝涛;张毅 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 天津耀达律师事务所 12223 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
一种高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法。本发明在AZO薄膜沉积过程中，采用氢气+氩气混合气体作为工作气体，通过磁控溅射气压、功率、基底与靶材间距、基底转速和氢气含量的调节，能够在基底不加热的室温或基底加热到300℃以下的任意温度制备出电导率为0.5～2×10 |
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| 搜索关键词： | 一种 透光率 电导率 大面积 掺杂 氧化锌 透明 导电 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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