[发明专利]一种高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：将铝掺杂氧化锌靶装入磁控溅射腔体，采用射频磁控溅射方法溅射铝掺杂氧化锌靶，溅射条件包括：溅射腔体内本底真空度为5.0×10^-5～2.0×10^-3Pa，基底与靶材间距为60～140mm，基底温度为20～300℃，溅射功率密度为1.8～3.6W/cm²,溅射工作气压为0.2～2Pa，氢气体积含量为0～10％，沉积时长40～200min。

2.如权利要求1所述的高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于气体总流量为1.5～20sccm。

3.如权利要求1所述的高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于基底转速为2～10rpm。

4.如权利要求1所述的高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于所使用气体为高纯氢气和高纯氩气，进入真空腔体之前混合或者分别进入真空腔体后混合；或者使用氢氩混合气体与高纯氩气通过流量独立控制实现氢含量控制。

5.如权利要求1所述的高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于所述铝掺杂氧化锌薄膜是沉积在普通玻璃、石英玻璃、柔性材质聚酰亚胺、聚甲基丙烯酸甲酯或聚碳酸酯衬底上，或直接沉积在半成品太阳电池器件或其他半成品光电子器件。

6.如权利要求5所述的高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于所述的半成品太阳电池器件包含衬底、背电极、吸收层和缓冲层构成的异质结。

7.如权利要求5所述的高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于所述的半成品光电子器件包含衬底、背电极、光电转换层和界面层。

8.如权利要求1所述的高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于所述铝掺杂氧化锌靶材中氧化铝质量百分比为0.2％～3％。

9.如权利要求8所述的高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于采用单个固定氧化铝含量的AZO靶材，或者采用同时溅射不同氧化铝含量的多个靶材的组合进行磁控溅射。

10.权利要求1-9任一项所述方法制备的高透光率、高电导率的大面积铝掺杂氧化锌透明导电薄膜在光伏太阳电池及其他光电子器件中的应用。