[发明专利]在对图案化样本的计量测量中使用的测量系统有效
| 申请号： | 202011296807.6 | 申请日： | 2016-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN112504116B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 约阿夫·贝拉茨基;瓦莱里·戴希;德罗尔·沙菲尔;丹尼·格罗斯曼 | 申请（专利权）人： | 诺威有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02001 | 分类号： | G01B9/02001;G01B9/02018;G01B9/02015;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘梅 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 呈现了在对图案化样本的计量测量中使用的测量系统。该系统包括：至少一个光源设备，被配置为生成宽带光，至少一个检测设备，被配置为提供检测光的光谱信息，以及光学系统。光学系统至少包括倾斜通道系统，其用于将光源生成的入射光沿着倾斜照明通道引导到样本要定位在的测量平面上，并将从样本镜面反射的宽带光沿着收集通道引导到检测设备。光学系统进一步包括干涉测量单元，其包括分束/合束设备和参考反射器设备。分束/合束设备容纳于照明通道和收集通道中并且将在照明通道中传播的光划分为在样本路径中传播的样本光束和在参考路径中传播的参考光束，并将反射参考路径和反射样本路径组合到收集通道中从而在检测平面上形成光谱干涉图案。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 样本 计量 测量 使用 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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