[发明专利]一种三次元尺寸测量仪及其测量方法在审
| 申请号： | 202011296120.2 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112945133A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 林永春;雷亮;郑勇浩;杨晓东;李卓浩 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/06;G01B11/00;G06T7/60;G06T7/80 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 余胜茂 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三次元尺寸测量仪，包括升降装置、显微镜、三维移动平台、图像传感器和控制系统。本发明还提供一种测量方法，包括以下步骤：S1:装配好各个零部件，并确保图像传感器采集到清晰的图像；S2:将标定板放置在三维移动平台上，对图像采集模块进行标定，得到准确的标定参数；S3:通过Laplacian梯度算法的运用进行自动对焦操作，获取元件的高度尺寸信息；S4：控制模块驱动三维移动平台对工件进行步进拍照；S5：测量处理模块抓取图像数据，对不同图像进行处理，得到工件轮廓，从而得到工件平面尺寸信息。本发明能实现在非接触条件下清晰成像，同时测量得到精度达到微米级别的尺寸数据，并且不会对器件造成损伤，操作简单、快捷和效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三次 尺寸 测量仪 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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