[发明专利]一种防混光的半导体激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 202011293449.3 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112421377B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 焦英豪;毛虎;陆凯凯;毛卫涛 | 申请（专利权）人： | 广东鸿芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10 |
| 代理公司： | 深圳市特讯知识产权代理事务所(普通合伙) 44653 | 代理人： | 何明生 |
| 地址： | 523696 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防混光的半导体激光器及其制备方法，半导体激光器包括基板，所述半导体激光器还包括设于基板上的金属层、填充于相邻金属之间的硅氧化合物、依次设于金属层及填充硅氧化合物形成的结构层上的ALD膜层、绝缘介质层、PMMA层和有源层，所述半导体激光器内形成有贯穿ALD膜层、绝缘介质层及PMMA层的环形孔腔，所述环形孔腔内设有反射膜层。本发明环形孔腔内的银膜作为激光器的光学谐振腔，由于银膜层反射率很高，当光线扩散时，由于银的存在会将光线反射回去，从而控制光线不往相邻外部空间扩散而导致混光、发光不均、亮度低等现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防混光 半导体激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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