[发明专利]一种自动修正和补偿芯片偏移和角度的系统及方法

摘要

本发明公开一种自动修正和补偿芯片偏移和角度的系统及方法，该系统包括有接收部分、计算系统以及发出部分；该计算系统连接接收部分，该发出部分连接计算系统，该接收部分接收PBI检测装置的实际检测结果，实际检测结构包括偏移量和角度值，并把实际检测结果继续传给计算系统，计算系统根据实际检测结果来计算并给出修正或者补偿值，该发出部分是在得到修正或者补偿值后传输指令给芯片键合系统。通过配合利用接收部分、计算系统和发出部分，可自动修正补偿芯片偏移和角度，无需人工手动输入，以实现全自动生产化，保证生产的质量，减少输入补偿值的停机时间，有利于提高生产效率，同时可杜绝输入错误补偿值的情况，为生产作业带来便利。