[发明专利]一种固态装配型薄膜体声波谐振器及其制作方法在审
| 申请号： | 202011278679.2 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112332798A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 517001 广东省河源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种固态装配型薄膜体声波谐振器及其制作方法。该制备方法包括以下步骤：在制备衬底上制作该声波谐振器的薄膜结构层；将制备衬底和其上制作的薄膜结构层一起，以该薄膜结构层的一面固定于支撑衬底上；将制备衬底去除，在薄膜结构层之上沉积顶电极并进行相应的刻蚀；最终形成依次层叠为支撑衬底、布拉格反射层、底电极、压电膜、顶电极和负载层的结构。采用该方法制备得到的固态装配型薄膜体声波谐振器，克服了常规工艺中无法制备出高质量单晶压电薄膜材料的限制，使该谐振器具备更好的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 装配 薄膜 声波 谐振器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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