[发明专利]一种固态装配型薄膜体声波谐振器及其制作方法

权利要求书

1.一种固态装配型薄膜体声波谐振器，其特征在于，由上至下依次包括负载层、顶电极、薄膜结构层、键合层、转移衬底与支撑衬底，所述薄膜结构层包括压电薄膜、底电极、布拉格反射层，所述顶电极、压电薄膜与底电极构成三明治结构。

2.根据权利要求1所述的一种固态装配型薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述薄膜结构层与转移衬底通过非金属Si-Si或SiO₂-SiO₂连接设置。

3.根据权利要求1所述的一种固态装配型薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述支撑衬底的材料为硅衬底。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于压电薄膜为单晶AlN薄膜，电极材料为金属Pt、Mo、W、Ti、Au中的一种及以上，布拉格反射层由两组以上高声阻薄膜层和低声阻抗薄膜层交替组成，高声阻抗材料为金属W，低声阻抗材料为SiO₂。

5.一种制作权利要求1-4中任意一项固态装配型薄膜体声波谐振器的方法方法，其特征在于，具体步骤如下：

1）制作制备衬底；

2）在制备衬底上依次沉积单晶压电薄膜、底电极，布拉格反射层与键合层；

3）随后在支撑衬底上沉积键合层，再通过倒装键合方式将键合层键合，去除制备衬底之后再沉积顶电极与负载层；

4）最后，薄膜体声波谐振器的电极、压电薄膜需要通过光刻、刻蚀获得所需要的图形。