[发明专利]一种石墨基座盘表面梯度TaC涂层

摘要

本发明公开了一种石墨基座盘表面梯度TaC涂层，包括石墨基座盘基体，石墨基座盘基体的表面设有梯度TaC涂层；梯度TaC涂层包括TaC组份和C组份，TaC组份含量从内至外从0％逐渐增加到100％，且梯度分布符合y＝ax线性方程规律或者符合y＝ax2抛物线性规律分布。本发明利用CVD动态共沉积技术，实现涂层中TaC组分含量从0‑100％的梯度跨越，由于涂层内层为热解炭层，其与石墨基体热膨胀系数相近，随后逐渐过渡，可有效改善涂层与基体之间的热匹配差异；同时涂层中软质C组份结构和纳米孔隙可有效缓解TaC晶体的热膨胀，以降低涂层内的应力峰值。