[发明专利]一种可控跨尺度激光干涉光刻装置有效
| 申请号： | 202011257866.2 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112255895B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 杜婧;冯金花;龚建文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可控跨尺度激光干涉光刻装置，包括支撑组件、精密工件台、光路组件、光路调整组件、视频图像对准模块及分割图形掩模调整台。支撑组件为整个装置的安装基准，由隔振光学平台、支座、支板及吊杆组成；精密工件台以实现同步扫描和步进拼接的功能，由XY粗动台、XYθ精动台、Z向台及平面光栅组成；光路组件为实现干涉光刻的光学元器件；光路调整组件用于各组反射镜位置的调整，以实现光刻图形偏振方向及周期的改变；视频图像对准模块由两组CCD和镜头组成；分割图形掩模调整台为手动调整台；分割图形掩模调整台结合视频图像对准模块。该装置的可变光路部分可以实现360度高精度旋转，从而可以实现图形任意偏振方向的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可控 尺度 激光 干涉 光刻 装置 | ||
【主权项】：
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