[发明专利]一种基于聚偏氟乙烯的柔性湿度传感器的制作方法在审
| 申请号： | 202011232049.1 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112485298A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 黎威志;阳瑞霖;刘坤林;王轶德 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 轩勇丽 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于聚偏氟乙烯的柔性湿度传感器的制作方法，属于柔性传感器技术领域，包括以下步骤：(1)清洗硬质基底；(2)光刻成形；(3)沉积牺牲层和金属层并去除光刻胶；(4)高温退火；(5)制作柔性湿敏材料；(6)刻蚀牺牲层，即可得到柔性湿度传感器。本发明制得的柔性湿度传感器兼具柔性和强度，先在刚性基片上制作金属叉指电极，从而进行高温退火，有助于改善金属叉指电极的硬度，降低残余应力，解决柔性传感器普遍的迟滞较大的难题，同时使金属结构更加稳定，消除组织缺陷，从而提高柔性湿度传感器的整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 聚偏氟 乙烯 柔性 湿度 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
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