[发明专利]基于AFM纳米压痕实验获取硬度和弹性模量测量值的方法在审

专利信息
申请号: 202011194114.6 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN112305264A 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 陈建超;高玉东;张鑫业;刘博玮;许帅康;安小广 申请(专利权)人: 燕山大学
主分类号: G01Q60/24 分类号: G01Q60/24;G01N3/42;G01N3/08
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 何圣斐;李洪福
地址: 066004 河北省*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明公开了一种基于AFM纳米压痕实验获取硬度和弹性模量测量值的方法,所述方法主要包括载荷‑位移曲线的转化、硬度的计算和弹性模量的计算等步骤,当前AFM设备在完成纳米压痕后仅能将采集到的数据由载荷‑位移转化为载荷‑压深曲线,而不能直接获取被测材料的测量硬度和弹性模量值。因此,本发明的目的在于使载荷‑位移曲线转化为载荷‑压深曲线后能够依靠AFM纳米压痕获取的原始载荷‑位移曲线,完成硬度和弹性模量值高效、精准的计算,从而为AFM纳米压痕的使用者们提供便利条件。
搜索关键词: 基于 afm 纳米 压痕 实验 获取 硬度 弹性模量 测量 方法
【主权项】:
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