[发明专利]一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统有效
| 申请号： | 202011190698.X | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112421967B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 牛红军;贺达江;宋宏彪;陈雷平 | 申请（专利权）人： | 怀化学院 |
| 主分类号： | H02M5/458 | 分类号： | H02M5/458;H02J13/00 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 殷瑜 |
| 地址： | 418000 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统，所述系统包括：多个电压传感器、多个动态电压恢复器、比例谐振闭环控制器、数据存储模块以及协议转换单元，多个电压传感器分别用于测量目标设备中多个敏感负荷侧的电压信号；比例谐振闭环控制器分别接收各个敏感负荷侧的电压信号并基于闭环控制生成补偿信号；多个动态电压恢复器分别接收所述比例谐振闭环控制器生成的补偿信号，并基于所述补偿信号输出相应的动态电压至所述供电网络。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 集成电路 精密 加工 设备 动态 电压 恢复 系统 | ||
【主权项】：
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