[发明专利]一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统

权利要求书

1.一种用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统，其特征在于，所述系统包括：

多个电压传感器、多个动态电压恢复器、比例谐振闭环控制器、数据存储模块以及协议转换单元，

多个电压传感器分别用于测量目标设备中多个敏感负荷侧的电压信号；

比例谐振闭环控制器分别接收各个敏感负荷侧的电压信号并基于闭环控制生成补偿信号；所述比例谐振闭环控制器的电流开环传递函数为：

式中k_PWM为动态电压恢复器中逆变器的衰减系数，Ts为采样等效延时，k为比例系数，L_f为剪切频率；

多个动态电压恢复器分别连接在供电网络中，每个动态电压恢复器与一个电压传感器所在电路对应，分别接收所述比例谐振闭环控制器生成的补偿信号，并基于所述补偿信号输出相应的动态电压至相应电路；

所述数据存储模块与所述比例谐振闭环控制器相连以接收并存储相应的补偿信号。

2.根据权利要求1所述的用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统，其特征在于，动态电压恢复器串联于供电网络中，位置上与一个电压传感器对应，包括：并联变压器、LC低通滤波器、整流单元、储能电容以及逆变单元，所述供电网络经由所述并联变压器与所述整流单元相连，所述储能电容并联连接在所述整流单元和所述逆变单元之间，所述LC低通滤波器串联连接在所述逆变单元与所述供电网络之间。

3.根据权利要求1所述的用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统，其特征在于，

比例谐振闭环控制器检测所述电压信号以确定其相位，将所检测到的相位与预设幅值相乘后作为参考电压，并且与所测得电压信号的电压值进行差分，通过比例谐振调节器作为电压环进行电压调节，其输出的交流量作为参考值与负载电流值i_L求偏差后再次通过比例谐振调节器实现电流环进行电流调节，将占空比送入PWM模块，输出动态补充电压。

4.根据权利要求1所述的用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统，其特征在于，

还包括多个无线接收机、多个无线发射机、调制解调模块、协议转换单元和互联网，其中至少一个无线接收机与调制解调模块相连作为电压信号接收机，所述电压信号接收机与比例谐振闭环控制器之间经由调制解调模块、协议转换单元和互联网进行通信连接；其他无线接收机各连接一个动态电压恢复器，至少一个无线发射机与比例谐振闭环控制器相连作为补偿信号发射机，其他无线发射机各与一个电压传感器相连，用于发送相应的电压信号至电压信号接收机，补偿信号发射机用于将补偿信号发送至各个动态电压恢复器。

5.根据权利要求1所述的用于集成电路精密加工设备的动态电压恢复器系统，其特征在于，

比例谐振闭环控制器的闭环系统传递函数为：

其中，k_PWM为动态电压恢复器中逆变器的衰减系数，n为系数，G_v、G_i分别为前通道电压、电流，R_f为动态电压补偿器中的滤波电感电阻与功率开关等效电阻之和，L_f、C_f分别表示剪切频率、开关频率，s为传递函数变量。

6.一种权利要求1中所述动态电压恢复器系统的使用方法，其特征在于，所述方法包括：

在每一个敏感设备的供电支路中设置一个电压传感器和一个动态电压恢复器，每个电压传感器将其所测得的电压信号通过一个无线发射器发送至电压信号接收机，所述电压信号接收机通过无线网络将所测得的电压信号输送至比例谐振闭环控制器，所述比例谐振闭环控制器基于每个电压传感器测得的电压信号生成补偿信号并通过补偿信号发射机发送至相应动态电压恢复器的无线接收机，

所述比例谐振闭环控制器的电流开环传递函数为：

其中，k_PWM为动态电压恢复器中逆变器的衰减系数，Ts为采样等效延时，k为比例系数，L_f为剪切频率。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，

比例谐振闭环控制器的闭环系统传递函数为：

其中，k_PWM为动态电压恢复器中逆变器的衰减系数，n为系数，G_v、G_i分别为前通道电压、电流，R_f为动态电压补偿器中的滤波电感电阻与功率开关等效电阻之和，L_f、C_f分别表示剪切频率、开关频率，s为传递函数变量。