[发明专利]一种氧化物薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202011157653.2 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN112376024B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 罗建恒 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/54;C23C14/08;C23C14/10;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种氧化物薄膜的制备方法，包括：将待沉积薄膜的晶圆放入反应腔室的基座上；向反应腔室内通入氩气和氧气的混合气体，对靶材施加直流功率和射频功率，使该混合气体形成等离子体，该等离子体轰击靶材，以在晶圆上形成氧化物薄膜；停止对靶材施加功率，向反应腔室内通入氩气、氧气和氮气的混合气体，对基座施加射频功率，使该混合气体形成等离子体，该等离子体轰击氧化物薄膜，以形成氮氧化物薄层；继续向反应腔室内通入氩气、氧气和氮气的混合气体，对靶材施加直流功率和射频功率，继续对基座施加射频功率，使该混合气体形成等离子体，该等离子体轰击靶材和氮氧化物薄层，以在氮氧化物薄层上形成氮氧化物薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化物 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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