[发明专利]一体式芯片生产用清洗烘干输送设备在审
| 申请号： | 202011129299.2 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112317407A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 韩锐丰 | 申请（专利权）人： | 安徽晟东科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人： | 金福坤 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市庐阳区三孝*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一体式芯片生产用清洗烘干输送设备，包括从左到右依次排列的清洗箱、喷淋箱、冷风箱、烘干箱和输送线，所述清洗箱的顶端安装有清洗机构，所述清洗箱的背侧设置有驱动机构，且驱动机构上安装有芯片放置机构，所述喷淋箱的正面和背面均等距安装有水管，且水管上等距焊接有斜管，所述斜管的末端安装有喷淋头。本发明设置有清洗机构，较传统装置，清洗质量更好；设置有芯片放置机构，而且设置为可取出的芯片放置板，使得芯片放置板上的芯片得到全方位喷淋和烘干，解决了传统将芯片放置于输送线上导致一面烘干效果不佳，有水印存在的问题率；设置有归正机构，方便将芯片中心距离归正，使得装置能够良好的衔接下一工艺流程。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 芯片 生产 清洗 烘干 输送 设备 | ||
【主权项】：
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