[发明专利]一体式芯片生产用清洗烘干输送设备

权利要求书

1.一体式芯片生产用清洗烘干输送设备，包括从左到右依次排列的清洗箱(1)、喷淋箱(2)、冷风箱(3)、烘干箱(4)和输送线(5)，其特征在于：所述清洗箱(1)的顶端安装有清洗机构(6)，所述清洗箱(1)的背侧设置有驱动机构(7)，且驱动机构(7)上安装有芯片放置机构(8)，所述喷淋箱(2)的正面和背面均等距安装有水管(9)，且水管(9)上等距焊接有斜管(10)，所述斜管(10)的末端安装有喷淋头(11)，所述冷风箱(3)的正面和背面均安装有冷风机(13)，所述烘干箱(4)的正面和背面均安装有热风机(14)，所述输送线(5)的正面和背面均安装有防坠板(15)，所述输送线(5)上端面靠右侧设置有归正机构(16)。

2.根据权利要求1所述的一体式芯片生产用清洗烘干输送设备，其特征在于：所述清洗箱(1)的底侧和背侧分别安装有排水管和进水管，所述喷淋箱(2)、冷风箱(3)和烘干箱(4)的底侧均安装有排水管。

3.根据权利要求1所述的一体式芯片生产用清洗烘干输送设备，其特征在于：所述清洗机构(6)包括活动框(61)和两组L形板(62)，两组所述L形板(62)分别固定在清洗箱(1)的前后两侧壁上，两组所述L形板(62)的顶端均安装有第一导轨(63)和第一滑块(64)，并且所述活动框(61)通过第一导轨(63)和第一滑块(64)与L形板(62)进行滑动连接，所述活动框(61)的顶端焊接有平板(65)，且平板(65)的上端面对称安装有第二导轨(66)和第二滑块(67)，两组所述第二滑块(67)的顶端共同固定连接有L形连接架(68)，且L形连接架(68)的一侧固定连接有U形板(69)，所述U形板(69)上通过轴承座转动连接有清洗辊(610)，所述L形连接架(68)上端面的一侧安装有第一安装板(611)，且第一安装板(611)的顶端安装有第一电机(612)，所述第一电机(612)的输出轴和清洗辊(610)的顶端通过第一同步带(614)和一对第一同步轮(613)进行传动连接，所述平板(65)上端面的前后两侧均对称安装有第三安装板(615)，且第三安装板(615)上通过亦通过轴承座转动连接有第二同步轮(616)，两组所述第二同步轮(616)之间通过第二同步带(617)进行传动连接，所述平板(65)上端面的一侧安装有第四安装板(618)，且第四安装板(618)上安装有第四电机(619)，所述第四电机(619)的输出轴穿过第四安装板(618)并与其所靠近的第二同步轮(616)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一体式芯片生产用清洗烘干输送设备，其特征在于：其中一组所述L形板(62)的上安装有导条(620)，且导条(620)上安装有齿条(621)，所述齿条(621)上开设有与导条(620)相互配合的滑槽，所述齿条(621)通过该滑槽与导条(620)滑动连接，所述齿条(621)的两端均设置有压板(622)，且压板(622)与L形板(62)固定连接，所述齿条(621)的正面固定连接有第一连接板(623)，且第一连接板(623)的顶端与活动框(61)固定连接，所述齿条(621)的一侧设置有第二电机(624)，且第二电机(624)的输出轴上固定连接有与齿条(621)相互啮合第一齿轮(625)，所述第二电机(624)通过第二安装板(626)固定安装在清洗箱(1)的侧壁上，所述第一导轨(63)的外部设置有护板(627)，且护板(627)固定连接在清洗箱(1)的侧壁。