[发明专利]一种蒸镀机构及其工作方法在审
| 申请号： | 202011119934.9 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN112030114A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 兰兰;曲毅;董晴晴;冯丹丹;康梦华;邱少亚 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56;C23C14/54;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 230037 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种蒸镀机构及其工作方法，蒸镀机构包括：温控板，所述温控板具有制热功能；掩膜板，适于位于所述温控板的下方，所述掩膜板和所述温控板之间适于放置基板；所述温控板适于在像素位置蒸镀精度的调试过程中模拟基板的蒸镀温度环境；对位检测单元，所述对位检测单元适于在所述温控板制热时获取所述掩膜板的蒸镀开口和所述基板的蒸镀图形区之间的对位偏差。所述蒸镀机构能够提高像素位置蒸镀精度的调试效率且降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机构 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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