[发明专利]一种蒸镀机构及其工作方法

说明书

一种蒸镀机构及其工作方法，蒸镀机构包括：温控板，所述温控板具有制热功能；掩膜板，适于位于所述温控板的下方，所述掩膜板和所述温控板之间适于放置基板；所述温控板适于在像素位置蒸镀精度的调试过程中模拟基板的蒸镀温度环境；对位检测单元，所述对位检测单元适于在所述温控板制热时获取所述掩膜板的蒸镀开口和所述基板的蒸镀图形区之间的对位偏差。所述蒸镀机构能够提高像素位置蒸镀精度的调试效率且降低成本。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种蒸镀机构及其工作方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light－Emitting Diode，简称OLED)显示器，又称为有机电致发光显示器，是一种新兴的平面显示器。与现有的液晶显示器相比，其具有自主发光、视角宽、超轻、超薄、高亮度、低功耗和快响应等一系列的优点，并且响应速度可达液晶显示器的1000倍，因此，OLED显示器成为国内外非常热门的平面显示器产品，具有广阔的应用前景。OLED显示器的结构包括：基板玻璃；依次层叠设置在基板玻璃上的阳极、有机功能层和阴极；以及封装在玻璃基板上的盖板。其中，有机功能层包括空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层。

在制备OLED显示基板的过程中，要用到蒸镀掩膜板在待蒸镀的OLED基板上蒸镀发光材料，从而形成像素区域。其中，像素位置的蒸镀精度，即PPA(Pixe lPositionAccuracy)是非常重要的管控参数之一，若PPA偏差较大，则会产生混色、缺色等工艺不良，影响制程良率。因此，在蒸镀作业之前，需要对PPA进行调试。

然而，采用现有技术中对PPA进行调试的效率低且成本高。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中对PPA进行调试的效率低且成本高的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种蒸镀机构，包括：温控板，所述温控板具有制热功能；掩膜板，适于位于所述温控板的下方，所述掩膜板和所述温控板之间适于放置基板；所述温控板适于在像素位置蒸镀精度的调试过程中模拟基板的蒸镀温度环境；对位检测单元，所述对位检测单元适于在所述温控板制热时获取所述掩膜板的蒸镀开口和所述基板的蒸镀图形区之间的对位偏差。

可选的，所述温控板包括半导体制冷片，所述半导体制冷片具有朝向所述基板的第一功能面，第一功能面能够作为热端面，第一功能面还能作为冷端面。

可选的，所述对位检测单元包括：位移单元和图像获取单元，所述位移单元适于驱动所述图像获取单元在所述掩膜板远离所述温控板的一侧进行移动。

可选的，所述对位检测单元还包括：温度保护装置，所述温度保护装置具有容纳所述图像获取单元的内腔；所述位移单元适于驱动所述图像获取单元进入所述内腔或者离开所述内腔。

可选的，一个蒸镀机构中具有多个对位检测单元。

可选的，还包括：蒸镀腔室；所述温控板和所述对位检测单元位于所述蒸镀腔室内。

可选的，还包括：位于所述温控板上方的磁力板。

本发明还提供一种蒸镀机构的工作方法，包括：将掩膜板放置于温控板的下方；将基板放置于所述温控板和所述掩膜板之间；所述温控板进行制热，以模拟基板的蒸镀温度环境；

在所述温控板进行制热时，采用对位检测单元获取所述掩膜板的蒸镀开口和所述基板的蒸镀图形区之间的对位偏差。

可选的，所述对位检测单元包括：位移单元和图像获取单元；采用对位检测单元获取所述掩膜板的蒸镀开口和所述基板的蒸镀图形区之间的对位偏差的方法包括：所述位移单元驱动所述图像获取单元在所述掩膜板远离所述温控板的一侧进行位移；所述图像获取单元在所述掩膜板远离所述温控板的一侧进行位移的过程中，测试所述掩膜板的每个蒸镀开口和所述基板的每个蒸镀图形区之间的对位偏差。