[发明专利]一种硅锭滚磨设备有效
| 申请号: | 202011114538.7 | 申请日: | 2020-10-19 |
| 公开(公告)号: | CN112222967B | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
| 发明(设计)人: | 李喜尼;黄智伟;黄斯哲 | 申请(专利权)人: | 深圳市晶迅捷科技有限公司 |
| 主分类号: | B24B5/18 | 分类号: | B24B5/18;B24B5/307;B24B5/35;B24B41/04;B24B47/22 |
| 代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 朱文军 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 一种硅锭滚磨设备,属芯片制造技术领域,包括磨削部、驱动部、压紧部和硅锭,驱动部安装在磨削部侧部,压紧部位于磨削部上方,规定安装于磨削部和驱动部之间。磨削部包括底座、磨削棍、从动轮、平台和侧板,底座具有一对,底座上具有并排布置的两个单耳,一对底座之间安装一对磨削棍,磨削棍的转轴外端安装从动轮,与从动轮相同侧的底座外端延伸一个平台,平台内侧还具有向上安装侧板。驱动部包括电机和主动轮,电机安装在平台,电机的输出轴连接主动轮。压紧部包括支架、压紧辊、压紧柱、支撑柱、弹簧和螺母,支架具有一对,支架立于地面,支架上安装压紧棍,压紧辊对硅锭进行压紧操作。压紧辊的转轴两端上方安装压紧柱。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 硅锭滚磨 设备 | ||
【主权项】:
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