[发明专利]一种硅锭滚磨设备有效

专利信息
申请号: 202011114538.7 申请日: 2020-10-19
公开(公告)号: CN112222967B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 李喜尼;黄智伟;黄斯哲 申请(专利权)人: 深圳市晶迅捷科技有限公司
主分类号: B24B5/18 分类号: B24B5/18;B24B5/307;B24B5/35;B24B41/04;B24B47/22
代理公司: 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 代理人: 朱文军
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种硅锭滚磨设备,属芯片制造技术领域,包括磨削部、驱动部、压紧部和硅锭,驱动部安装在磨削部侧部,压紧部位于磨削部上方,规定安装于磨削部和驱动部之间。磨削部包括底座、磨削棍、从动轮、平台和侧板,底座具有一对,底座上具有并排布置的两个单耳,一对底座之间安装一对磨削棍,磨削棍的转轴外端安装从动轮,与从动轮相同侧的底座外端延伸一个平台,平台内侧还具有向上安装侧板。驱动部包括电机和主动轮,电机安装在平台,电机的输出轴连接主动轮。压紧部包括支架、压紧辊、压紧柱、支撑柱、弹簧和螺母,支架具有一对,支架立于地面,支架上安装压紧棍,压紧辊对硅锭进行压紧操作。压紧辊的转轴两端上方安装压紧柱。
搜索关键词: 一种 硅锭滚磨 设备
【主权项】:
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