[发明专利]一种硅锭滚磨设备

说明书

一种硅锭滚磨设备，属芯片制造技术领域，包括磨削部、驱动部、压紧部和硅锭，驱动部安装在磨削部侧部，压紧部位于磨削部上方，规定安装于磨削部和驱动部之间。磨削部包括底座、磨削棍、从动轮、平台和侧板，底座具有一对，底座上具有并排布置的两个单耳，一对底座之间安装一对磨削棍，磨削棍的转轴外端安装从动轮，与从动轮相同侧的底座外端延伸一个平台，平台内侧还具有向上安装侧板。驱动部包括电机和主动轮，电机安装在平台，电机的输出轴连接主动轮。压紧部包括支架、压紧辊、压紧柱、支撑柱、弹簧和螺母，支架具有一对，支架立于地面，支架上安装压紧棍，压紧辊对硅锭进行压紧操作。压紧辊的转轴两端上方安装压紧柱。

技术领域

本发明属于芯片制造技术领域，尤其涉及一种硅锭滚磨设备。

背景技术

芯片制造过程中有多个环节，其中一个重要的步骤是将制备好的单晶硅锭切片加工得到硅片，硅片切片中的一个重要步骤是对硅锭进行规模，这时由于生长的单晶硅锭的外径表面往往并不齐整，其直径也往往比最终抛光镜片所硅锭的直径规格大，需要通过外径滚磨来获得精确的硅锭直径。该操作通常需要专用设备来操作，当前也有大量专用设备应用于该领域，但是，这些设备大多结构复杂，成本高昂，而且操作复杂。

发明内容

本发明提供一种硅锭滚磨设备，以解决上述背景技术中的问题。

本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：

一种硅锭滚磨设备，包括磨削部、驱动部、压紧部和硅锭，驱动部安装在磨削部侧部，压紧部位于磨削部上方，硅锭安装于磨削部和压紧部之间。

磨削部包括底座、磨削棍、从动轮、平台和侧板，底座具有一对，底座上具有并排布置的两个单耳，一对底座之间安装一对磨削棍，磨削棍的转轴外端安装从动轮，两个从动轮安装在底座的同一侧，与从动轮相同侧的底座外端延伸一个平台，平台内侧还具有向上安装侧板。驱动部包括电机和主动轮，电机安装在平台，电机的输出轴连接主动轮，主动轮安装在侧板和底座的耳片之间，主动轮同时与两个从动轮啮合。压紧部包括支架、压紧辊、压紧柱、支撑柱、弹簧和螺母，支架具有一对，支架立于地面，支架上安装压紧辊，压紧辊对硅锭进行压紧操作。压紧辊在支架上可上下滑动，压紧辊的转轴两端上方安装压紧柱，压紧辊的转轴两端下方安装支撑柱，支撑柱通过一对螺母安装在支架上，压紧柱上套合弹簧，在弹簧的作用下，压紧柱将压紧辊向下挤压知道压紧辊抵住支撑柱。

进一步的，磨削棍为硅锭的磨削部件，磨削棍表面具有目数合适的磨粒，对硅锭起到磨削的作用。

进一步的，压紧辊表面也具有磨粒，对硅锭也有磨削作用。

进一步的，支架包括升高架、立板、滑槽、上耳片和下耳片，升高架立于地面，升高架的上部横梁上安装立板，立板中部具有滑槽，压紧辊的转轴安装滑槽上，压紧辊可在滑槽内上下滑动，立板顶部具有上耳片，压紧柱安装在上耳片上并向下延伸，弹簧位于压紧柱和上耳片下方，立板底部具有下耳片，支撑柱安装在下耳片上，一对螺母分别安装在下耳片的上方和下方，同时调节一对螺母可实现支撑柱的高度调节以及压紧操作。

进一步的，支撑柱的顶端安装一对滚轮，一对滚轮对压紧辊的转轴进行相切支撑，减小摩擦力。类似的，压紧柱底部也有与支撑柱顶端相同的结构特征。

本发明的有益效果是：

本发明用于芯片生产过程中硅锭磨削操作，其具有良好地自动定心功能，磨削后可以保证硅锭的圆度，其具有精确的直径确定功能，磨削的最后便得到了调校的硅锭尺寸。

附图说明

图1是本发明的示意图；

图2是本发明的右视图；

图3是本发明的爆炸图；