[发明专利]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202011100177.0 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN112019986B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 王忠鹏;庞胜利 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括壳体和泄气阀；所述壳体包括具有进声孔的基板；所述泄气阀设于所述基板的内表面，所述泄气阀设有与所述进声孔相对的透声孔及位于透声孔一侧的泄气孔；所述泄气阀包括主动片及与主动片层叠的被动片。其中，所述被动片与所述进声孔的环周贴合，所述被动片的热膨胀系数小于所述主动片的热膨胀系数；所述主动片具有与所述被动片层叠的主体部，以及自所述主体部两端延伸出的固定部；所述主体部被所述泄气孔贯穿，所述固定部与所述基板连接固定。本发明的MEMS麦克风，在能够平衡MEMS麦克风的内外气压、保护MEMS芯片不受到破坏的同时，还能改善低频频率响应下跌的问题。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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