[发明专利]超高数值孔径组合变倍率极紫外光刻照明系统有效
| 申请号： | 202011098581.9 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112162468B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 李艳秋;郝倩;闫旭 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 刘西云;李微微 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超高数值孔径组合变倍率极紫外光刻照明系统，通过同时考虑不同视场复眼元和光阑复眼元对照明通道形成的照明光斑相对于期望光斑的光斑倾斜量与中心偏移的组合优化算法高效完成不同照明模式下双排复眼的对位匹配，通过该对位匹配关系下各相邻视场复眼相对旋转角度确定各视场复眼元不碰撞的最佳视场复眼排布。本发明利用上述设计方法，实现了可与组合变倍率物镜系统光瞳匹配的组合变倍率照明系统，并可以高效构建不同照明模式下双排复眼的对位匹配关系，且保障各视场复眼元之间无碰撞，同时可在不同照明模式下在掩模面上实现高照明均匀性，满足极紫外光刻照明系统设计需求，可用于超高数值孔径(NA0.40)组合变倍率极紫外光刻物镜系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 数值孔径 组合 倍率 紫外 光刻 照明 系统 | ||
【主权项】：
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