[发明专利]超高数值孔径组合变倍率极紫外光刻照明系统

权利要求书

1.一种超高数值孔径组合变倍率极紫外光刻照明系统，其出射光在掩模上形成照明光斑，且出射光经由掩模入射到投影光刻物镜系统，再由投影光刻物镜系统将掩模的图案成像到硅片上，同时，所述照明系统包括沿光路依次设置的光源模块、视场复眼、光阑复眼、第一中继镜以及第二中继镜，其特征在于，所述视场复眼上各视场复眼元与光阑复眼上各光阑复眼元的对位匹配方法为：

S1：在设定的照明模式下，获取参与照明的光阑复眼元的数量以及各参与照明的光阑复眼元的所在位置，其中，参与照明的光阑复眼元的数量与视场复眼中包含的视场复眼元的数量相同；

S2：分别将各视场复眼元作为当前视场复眼元执行费用获取操作，得到各视场复眼元与各参与照明的光阑复眼元之间的配对成本，其中，所述费用获取操作为：

S21：将当前视场复眼元与各参与照明的光阑复眼元分别组成不同的复眼对；

S22：分别获取每个复眼对的配对成本Cost：

Cost＝Angle_ori+ω×Length_den

其中，Angle_ori与Length_den分别为光源模块发出的主光线经过所述复眼对、第一中继镜以及第二中继镜后在掩模上形成的照明光斑与期望光斑之间的光斑倾斜量与中心偏移，ω为设定权重；

S3：根据各视场复眼元与各参与照明的光阑复眼元之间的配对成本构建成本矩阵，根据成本矩阵获取各视场复眼元与各参与照明的光阑复眼元之间所有可能的配对方案对应的配对总成本，其中，在每一个可能的配对方案中，各视场复眼元与各参与照明的光阑复眼元一一对应；

S4：将配对总成本最小值对应的配对方案中各视场复眼元与各参与照明的光阑复眼元之间的一一配对关系作为最终的对位匹配关系；

所述视场复眼上各视场复眼元形成多行多列的复眼元阵列，且各行视场复眼元相互平行，同时，所述视场复眼上各行视场复眼元之间的间距设定方法为：

S5：基于各视场复眼元与各参与照明的光阑复眼元之间对位匹配关系，采用光学反射定律获取各视场复眼元的旋转角度；

S6：依次将各行视场复眼元作为当前行执行间距获取操作，得到当前行的视场复眼元与下一行的视场复眼元之间的期望最小间距，其中，所述间距获取操作为：

S61：在当前间距下，分别将当前行中的各视场复眼元作为当前复眼元依次执行角度旋转操作，得到当前复眼元与其相邻复眼元之间的最小间距，其中，所述相邻复眼元为下一行的视场复眼元中与当前复眼元相邻的复眼元，第一次执行角度旋转操作时，当前间距为设定的初始值，同时，所述角度旋转操作为：

以当前复眼元与其相邻复眼元相互平行作为起始状态，将当前复眼元与其相邻复眼元均旋转待转角度α，再将当前复眼元与其相邻复眼元中旋转角度较大的复眼元旋转相对旋转角度Δα，其中，待转角度α为当前复眼元与其相邻复眼元对应的旋转角度中的较小值，相对旋转角度Δα为当前复眼元与其相邻复眼元对应的旋转角度中的较大值与待转角度α之间的差值；

令旋转后的当前复眼元与其相邻复眼元处于相切状态，则两者处于相切状态时的间距为当前复眼元与其相邻复眼元之间的最小间距；

S62：将当前行中的各视场复眼元与各自对应的相邻复眼元之间的最小间距的最大值作为当前行的视场复眼元与下一行的视场复眼元之间的期望最小间距；

S7：按照各行视场复眼元之间的期望最小间距重新排布各视场复眼元，判断重新排布的视场复眼是否同时满足设定要求，若同时满足，则此时视场复眼上各行视场复眼元之间的间距为最优间距；若不同时满足，则进入步骤S8；其中，所述设定要求包括：视场复眼基板上的各视场复眼元与相邻视场复眼元不发生碰撞、视场复眼基板上的视场复眼元的数量和位置与上一次排布的数量和位置均相同；

S8：将重新排布后的视场复眼替代上一次排布的视场复眼重新执行步骤S1～S7，直到视场复眼同时满足设定要求。

2.如权利要求1所述的一种超高数值孔径组合变倍率极紫外光刻照明系统，其特征在于，步骤S61中令旋转后的当前复眼元与其相邻复眼元处于相切状态具体为：

若当前复眼元与其相邻复眼元之间的位置关系为碰撞状态，则增大当前复眼元与其相邻复眼元之间的间距；若当前复眼元与其相邻复眼元之间的位置关系为分离状态，则减小当前复眼元与其相邻复眼元之间的间距；若当前复眼元与其相邻复眼元之间的位置关系为相切状态，则当前复眼元与其相邻复眼元之间的间距保持不变。