[发明专利]碳化硅半导体器件及其制造方法在审
申请号: | 202011071147.1 | 申请日: | 2020-10-09 |
公开(公告)号: | CN112652655A | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 奥村谦太郎;大岳秀和;束原肇;渡边行彦 | 申请(专利权)人: | 株式会社电装 |
主分类号: | H01L29/16 | 分类号: | H01L29/16;H01L29/30;H01L29/45;H01L21/268;H01L21/324 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈珊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及碳化硅半导体器件和用于制造碳化硅半导体器件的方法。从n |
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搜索关键词: | 碳化硅 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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