[发明专利]拼接芯片的线上监控方法在审
| 申请号： | 202011061269.2 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112180691A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 赵庆贺;康柏;张武志;曹亚民 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种拼接芯片的线上监控方法，包括步骤：步骤一、将多个小尺寸的拼接单元拼接形成大尺寸的拼接芯片，拼接时对拼接单元进行排序使拼接芯片的窄边宽度小于等于量测机台的识别宽度的下限；步骤二、在拼接芯片的长边外侧设置多个第一图形标记将拼接芯片分割成多个重复测量单元，相邻两个第一图形标记之间的距离小于等于量测机台的识别宽度的下限；步骤三、量测机台通过所述第一图形标记锁定对应的重复测量单元并实现对锁定的重复测量单元进行测量并进而进行重复测量完成拼接芯片的线上监控。本发明能实现对大尺寸的拼接芯片的线上监控。 | ||
| 搜索关键词： | 拼接 芯片 线上 监控 方法 | ||
【主权项】：
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