[发明专利]硒化锌的生长方法有效
| 申请号： | 202011041984.X | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112095150B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 于金凤;朱刘 | 申请（专利权）人： | 安徽中飞科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/48 | 分类号： | C30B29/48;C30B28/14 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 239000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种硒化锌的生长方法包含步骤：a.将锌置于化学气相沉积炉中的坩埚中，氩气置换沉积炉中的空气，抽真空，真空度为3000Pa‑10000Pa；b.将化学气相沉积炉中的沉积腔室升温至沉积温度700℃‑800℃，将坩埚升温至蒸发温度650℃‑700℃；c.分别向坩埚、沉积腔室中通气进行硒化锌的气相沉积反应，将氩气通入到坩埚中，将氩气和硒化氢通入到沉积腔室中，使得硒化锌的沉积速率为50‑150μm/h；d.反应结束后，维持与沉积过程中相同的压力和气体流量，将沉积腔室继续升温50℃‑170℃，进行首次恒温，之后降温至500℃‑650℃的范围，进行再次恒温，然后降至室温，得到硒化锌产品。本公开提供的硒化锌的生长方法可以生产大尺寸、加厚尺寸、高光学性能的多晶硒化锌材料。 | ||
| 搜索关键词： | 硒化锌 生长 方法 | ||
【主权项】：
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