[发明专利]硒化锌的生长方法

权利要求书

1.一种硒化锌的生长方法，其特征在于，包括步骤：

a.将锌置于化学气相沉积炉中的坩埚中，利用氩气置换沉积炉中的空气，抽真空，真空度为3000Pa-10000Pa；

b.对化学气相沉积炉进行升温，将化学气相沉积炉中的沉积腔室升温至沉积温度700℃-800℃，将坩埚升温至蒸发温度650℃-700℃；

c.分别向坩埚、沉积腔室中通气进行硒化锌的气相沉积反应，将氩气通入到坩埚中，通入到坩埚中的氩气流量为12L/min-60L/min，将氩气和硒化氢通入到沉积腔室中，使得硒化锌的沉积速率为50-150μm/h；

d.反应结束后，维持与沉积过程中相同的压力和气体流量，将沉积腔室继续升温50℃-170℃，进行首次恒温，之后降温至500℃-650℃的范围，进行再次恒温，然后降至室温，得到硒化锌产品，硒化锌产品的直径为300-500mm、厚度为20-40mm。

2. 根据权利要求1所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，

在步骤a中，锌的纯度为≥99.999%；和/或

坩埚的材质为等静压石墨。

3.根据权利要求1所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，在步骤c中，所述硒化锌的沉积速率通过控制通入到坩埚中氩气的流量、坩埚的温度、通入到坩埚中的氩气流量与坩埚中锌蒸气蒸发速率的比例、通入到沉积腔室中的氩气和硒化氢混合气体中的氩气流量、通入到沉积腔室中的氩气流量与硒化氢流量的比例、通入到沉积腔室中的硒化氢与由坩埚进入到沉积室的锌蒸气的流量比例、化学气相沉积炉的真空度来实现。

4. 根据权利要求1所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，

在步骤b中，沉积腔室的升温速率为0.3℃/min-1℃/min；和/或

在步骤b中，坩埚的升温速率为0.2℃/min-0.8℃/min。

5.根据权利要求3所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，在步骤c中，通入到坩埚中的氩气流量与坩埚中锌蒸气蒸发速率的比例为3:1-15:1，其中，流量单位为L/min，锌蒸气蒸发速率单位为L/min。

6.根据权利要求3所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，在步骤c中，通入到沉积腔室中的氩气流量与硒化氢流量的比例为5:1-20:1，其中，氩气流量单位和硒化氢流量单位均为L/min。

7.根据权利要求3所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，在步骤c中，通入到沉积腔室中的硒化氢流量与由坩埚进入到沉积室的锌蒸气的流量比例为1:1-1.3:1，其中，硒化氢流量单位和锌蒸气流量单位均为L/min。

8. 根据权利要求3所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，在步骤c中，

通入到沉积腔室中的硒化氢流量为8-12L/min；和/或

由坩埚进入到沉积室的锌蒸气的流量为6-12L/min。

9. 根据权利要求1所述的硒化锌的生长方法，其特征在于，在步骤d中，首次恒温的时间为8h -72h，再次恒温的时间为10h-48h。