[发明专利]红外探测器件及其制备方法

摘要

本发明提供了一种红外探测器件及其制备方法，红外探测器件包括衬底以及依次层叠设置于衬底上的绝缘层、微结构层，所述微结构层包括呈阵列设置的多个微结构，所述红外探测器件还包括设置于所述微结构层表面的吸收层，所述吸收层的材质为Ge2Sb2Te5相变材料，所述微结构层的材质为金属，所述微结构层的局域表面等离激元的共振波长为0.75～300μm。本发明提供的红外探测器件通过采用锗锑碲合金作为吸收层的材质以及在吸收层与绝缘层之间增加金属材质的微结构层，一方面，能够有效提升红外探测器件的灵敏度，另一方面，微结构层在外界红外光的照射下，表面的自由电子会发生集体振荡，产生局域表面等离激元，增加了对红外波段的吸收，有效提升红外探测器件的响应度。